引入80台移动操作机器人,分别投放于Bay内上下料(即Intrabay物流,共覆盖31个Bay)、跨Bay运输(即Interbay物流,通道总长度180米)和跨连廊运输三个场景。
- 覆盖从光刻到清洗等核心工艺环节,全面贯通从原材料到成品全生产制程的完整物料流自动化体系。
- 毫米级移动和操作精度,搬运过程中振动值低至0.1g(重力加速度),降低搬运中晶圆破裂的危险。
- 减少物料在各工艺环节间的等待滞留,显著降低了在制库存水位,使得产品循环周期得以缩短,设备利用率获得提升,生产效率和产值得以提升。
引入11台移动操作机器人,用于在输煤廊道、汽机房、锅炉房和升压站等区域进行跨区域的巡逻、监控、巡检和维护。
- 代替人工进入高风险环境,不仅解决人工安全问题,且作业效率不受影响。
- 7天24小时不间断巡检,覆盖超1400个关键点位,在巡检及时性和稳定性上较人工作业显著提升。
- 通过智能传感识别技术,及时准确发现异常情况和安全隐患,并自动发出警报。
- 巡检系统与电场信息化平台无缝融合,全面提升巡检效率和精度,保障安全生产。

